Установки вакуумного напыления
Предназначены для:
• нанесения защитно-декоративных покрытий
• декоративной отделки деталей с защитой от коррозии
• функциональных покрытий – для придания специальных свойств поверхности деталей (износостойкости, твердости, электроизоляционных, магнитных и т.д.)

Термобарокамеры
Обеспечивают проведения испытаний в контролируемой внешней среде. Объекты испытаний подвергаются процессам термоциклирования в соответствии с настраиваемой программой.
Работа в режиме отрицательных температур до минус 180 С, при этом камера комплектуется системой криогенных экранов, захолаживаемых жидким азотом.

Горизонтальные диффузионные печи FALCON 100
Применяется для производства полупроводниковых приборов и солнечных элементов. Печи для атмосферной и вакуумной обработки, LPCVD и MOCVD процессов.

Установки опрессовки и проверки на герметичность SAVTECH LT-MS
Оборудованы двумя вакуумными камерами, в одной происходит опрессовка изделий пробным газом, а в другой испытание опресованных изделий на герметичность масс-спектрометрическим методом.
Состав:
Масс-спектрометрический течеискатель;
Камера опрессовки;
Испытательная вакуумная камера;
Система напуска пробного газа;
Система измерения и управления;

Установки групповой термической обработки пластин FALCON 25
Применяются в процессах: термического отжига, осаждения химических паров (LPCVD, MOCVD) поликристаллического кремния,Si3N4, эпитаксии, низкотемпературного оксидирования (LTO), термического окисления SiO2, диффузии, процессов TEOS, POCl3, TCA, выращивания графитовых нанотрубок, осаждения молекулярных слоёв.

Установка вакуумной пайки SAVTECH RC
SAVTECH RC – установки для бездефектной пайки в вакууме и защитных газовых средах, разработанные как для опытного, так и для мелкосерийного поточного производства. Рабочая камера выполняется в двух вариантах: для пайки компонентов высотой до 50 мм (индекс M) и до 100 мм (индекс L).